أشباه الموصلات CNC
الآلات الدقيقة
CNCPioneer هي شركة تصنيع معتمدة لأشباه الموصلات باستخدام آلات CNC، تقدم مكونات فائقة الدقة بتفاوتات تصل إلى ±0.005 مم - أكثر من 78 مخرطة CNC سويسرية، وأكثر من 66 مركز طحن وخراطة MAZAK، ومعالجة سطح EP، وتنظيف UHP، وتغليف غرف نظيفة.
ما هي أشباه الموصلات
التصنيع باستخدام الحاسب الآلي؟
تُعدّ عمليات التصنيع باستخدام الحاسوب (CNC) لأشباه الموصلات عملية تصنيع دقيقة للمكونات المعدنية وغير المعدنية المستخدمة في معدات تصنيع رقائق أشباه الموصلات، وغرف المعالجة، وأنظمة توصيل الغاز، وأنظمة التفريغ، وأنظمة أتمتة مناولة الرقائق، وأجهزة القياس. وتتطلب هذه العمليات أدقّ التفاوتات البُعدية، وأفضل تشطيبات الأسطح، وأعلى معايير نقاء المواد، وأكثر متطلبات النظافة صرامةً من أي تطبيق صناعي آخر.
يمكن أن يؤدي التلوث بمستويات ضئيلة للغاية (أجزاء في المليار) في بيئات تصنيع أشباه الموصلات إلى إتلاف كميات كبيرة من الرقائق الإلكترونية بقيمة ملايين الدولارات. ويمكن لجزيء معدني واحد أو أثر هيدروكربوني على مكون مُبلل بالغاز أن يُحدث عيوبًا تُقلل من إنتاجية الرقائق أو تُؤثر سلبًا على قابلية تكرار العملية. كل بُعد، وتشطيب سطحي، وشهادة مادة، تُعد سجلًا للجودة يدعم برنامج تأهيل مُصنِّع المعدات الأصلي.
-
أخصائي معالجة الأسطح بتقنية EP التلميع الإلكتروليتي إلى درجة TK EP (Ra ≤ 0.25 ميكرومتر) لمكونات الفولاذ المقاوم للصدأ المبللة بالغاز - القدرة المميزة لأجهزة نظام توصيل الغاز فائق الضغط.
-
خبرة في مواد 316L VIM/VAR VIM/VAR من الدرجة 316L المستخدمة في أشباه الموصلات، والألومنيوم 6061، والإنكونيل 625، والهاستيلوي C-276 - تم الحصول عليها بشهادات مواد كاملة تؤكد مواصفات النظافة الخاصة بصناعة أشباه الموصلات.
-
قدرة مزدوجة سويسرية + مازاك مخارط CNC سويسرية لتركيبات VCR ذات القطر الصغير، ومقاعد الصمامات، ومكونات الفتحة؛ مراكز طحن وخراطة MAZAK لأجسام مشعب الغاز وأجهزة غرفة المعالجة.
-
تغليف غرف نظيفة فائقة النقاء تغليف مزدوج الأكياس، معزول بالنيتروجين، في بيئة غرفة نظيفة من الفئة ISO 5. وثائق كاملة: شهادات المواد، تقارير CMM، سجلات عملية EP، التحقق من النظافة، وشهادة المطابقة.
لماذا CNCPioneer؟
التصنيع باستخدام الحاسوب لأشباه الموصلات؟
تقدم شركة CNCPioneer مزيجًا من قدرات التصنيع الدقيق، وخبرة معالجة الأسطح، وبروتوكولات التحكم في التلوث مما يجعلنا شريك توريد مؤهل لمصنعي معدات أشباه الموصلات ومكاملي أنظمة الغازات الصناعية في جميع أنحاء العالم.
معالجة سطح TK EP
تلميع إلكتروليتي بدرجة TK EP (Ra ≤ 0.25 ميكرومتر) على جميع الأسطح المبللة بالغاز. يزيل التلميع الإلكتروليتي الخشونة السطحية الدقيقة، وبقايا التصنيع العالقة، والطبقة المتصلبة بالتشكيل. إنتاج سطح أكسيد خامل غني بالكروم مطلوب لمكونات نظام توصيل الغاز عالي الضغط.
مصادر 316L VIM/VAR
قضبان VIM/VAR من الدرجة 316L المستخدمة في أشباه الموصلات، مصدرها شهادات المصنع التي تؤكد ذلك. الامتثال لمحتوى دلتا فيريت — المادة الأساسية اللازمة لمعالجة سطحية متسقة وخالية من العيوب بتقنية الضغط الكهربائي على مكونات نظام توصيل الغاز.
دقة ختم وجه جهاز الفيديو
تم تصنيع وصلات VCR بدقة سطحية تبلغ 0.002 مم ودقة تشطيب سطحية Ra 0.25 ميكرومتر (TK EP) - وهي جودة السطح المطلوبة لـ سلامة مانع التسرب المعدني الموثوق به عند ضغوط تشغيل تصل إلى 3,000 رطل لكل بوصة مربعة في أنظمة الغاز ذات الضغط العالي للغاية.
معالجة متوافقة مع غرف الأبحاث النظيفة
تتم معالجة مكونات أشباه الموصلات المصنعة باستخدام آلات CNC وفحصها وتغليفها في بيئات خاضعة للتحكم في التلوث. عبوة مزدوجة التغليف، مملوءة بالنيتروجين في غرفة نظيفة من الفئة ISO 5 لمكونات نظام الغاز عالي النقاء للغاية.
ميزة التكلفة الكبيرة
هيكل تكلفة شركة تصنيع أشباه الموصلات باستخدام آلات CNC في الصين يحقق نتائج ملموسة مزايا التكلفة الكبيرة على موردي مكونات معدات أشباه الموصلات اليابانيين والأوروبيين والأمريكيين الشماليين دون المساس بنظافة السطح أو دقة الأبعاد.
خبرة في التوريد من المستوى الأول
خبرة راسخة في إدارة سلسلة التوريد مع برامج مكونات دقيقة تتطلب دقة عالية، بما في ذلك روبوت هيونداي يؤكد ذلك التزامنا بمعايير العمليات المتعلقة بمتطلبات الأبعاد والنظافة لبرامج تأهيل مصنعي المعدات الأصلية لأشباه الموصلات.
تصنيع أشباه الموصلات باستخدام الحاسب الآلي
المكونات التي نقوم بتصنيعها
تغطي عمليات التصنيع باستخدام الحاسب الآلي من CNCPioneer لتطبيقات صناعة أشباه الموصلات النطاق الكامل للمكونات الدقيقة لمعدات تصنيع الرقائق الأمامية، ومعدات التعبئة والتغليف الخلفية، وأنظمة قياس وفحص أشباه الموصلات.
مكونات نظام توصيل الغاز
تركيبات VCR ومكونات ختم الوجه، وتركيبات الغاز UHP، وأجسام الصمامات، ومكونات فتحة التحكم في تدفق الكتلة، وكتل مشعب الغاز في 316L VIM/VAR مع معالجة سطح TK EP (Ra ≤ 0.25 ميكرومتر) لأنظمة غاز العمليات فائقة النقاء.
مكونات نظام التفريغ
مكونات جسم غرفة التفريغ، وحواف ConFlat (CF) ذات هندسة حافة السكين (Ra 0.4 ميكرومتر)، ومكونات عمود التغذية الفراغية ومكونات الغلاف، ومكونات دوار وثابت مضخة التوربوموليكولار لمعدات معالجة أشباه الموصلات ذات الفراغ العالي والفراغ العالي للغاية.
مكونات معالجة ونقل الرقائق
شفرات نهاية المؤثر ذات استواء 0.05 مم وموضع الفتحة ±0.02 مم، ومكونات علبة الرقاقة وFOUP، وأجسام توزيع الغاز في ظرف برنولي، ومكونات المحاذاة والتمركز لروبوتات معالجة الرقاقات 200 مم و300 مم.
مكونات غرفة المعالجة
رؤوس الدش وألواح توزيع الغاز (قطر الفتحة ±0.01 مم، المسافة بين الفتحات ±0.02 مم)، وألواح قاعدة التثبيت الكهروستاتيكي، ومكونات حلقة الحصر والأقطاب الكهربائية، ومكونات بطانة الحجرة والدرع لحجرات الترسيب الكيميائي للبخار، والترسيب الذري الطبقي، والترسيب الفيزيائي للبخار، وحجرات حفر البلازما.
مكونات معدات القياس والفحص
مكونات المرحلة الخطية والدوارة عالية الدقة، وأجهزة تركيب النظام البصري، ومكونات إطار بطاقة المجس ومكونات التقوية، وهياكل تركيب العدسات والمرايا الدقيقة لأجهزة فحص رقائق أشباه الموصلات وأجهزة القياس.
مكونات الصمامات والمنظمات ومكونات الضغط
أجسام صمامات الحجاب الحاجز والمنفاخ، ومكونات مقعد الصمام (Ra 0.2 ميكرومتر)، وجسم منظم الضغط ومكونات الصمام، وأجهزة صمام الفحص لخزانة غاز أشباه الموصلات وأنظمة توصيل الغاز والتحكم في الضغط لأدوات المعالجة.
الصناعات والتطبيقات
تقوم شركة CNCPioneer بتوريد مكونات التصنيع باستخدام الحاسب الآلي لأشباه الموصلات إلى مصنعي المعدات الأصلية للمعالجة، ومكاملي أنظمة الغاز، وموردي معدات الفراغ، وشركات أتمتة معالجة الرقائق عبر كامل نطاق صناعات أشباه الموصلات والصناعات المجاورة.
تصنيع الرقاقات الأمامية
مكونات تصنيع أشباه الموصلات باستخدام آلات CNC لأدوات عمليات CVD و ALD و PVD وحفر البلازما وزرع الأيونات و CMP والطباعة الضوئية - أجهزة غرفة المعالجة ومكونات توصيل الغاز وأجزاء نظام الفراغ لتصنيع المنطق والذاكرة المتطورة.
مصنعي معدات أشباه الموصلات
خدمات التصنيع باستخدام الحاسوب (CNC) لمصنعي معدات صناعة أشباه الموصلات، بما في ذلك مصنعي أدوات المعالجة، ومكاملي أنظمة الغاز، وموردي معدات التفريغ، وشركات أتمتة معالجة الرقائق. مورد مؤهل لخدمات التصنيع باستخدام الحاسوب (CNC) لأشباه الموصلات، يدعم برامج تأهيل مكونات مصنعي المعدات الأصلية (OEM).
تصنيع أشباه الموصلات المركبة
مكونات التصنيع الدقيق لأشباه الموصلات باستخدام الحاسوب لتصنيع معدات الترسيب والتصنيع للأجهزة من GaAs و GaN و InP و SiC - مكونات مفاعل MOCVD، وأجهزة غرفة MBE، وأجزاء نظام توصيل الغاز المتخصص.
معدات تغليف أشباه الموصلات
مكونات معدات تغليف أشباه الموصلات الخلفية لربط الأسلاك، وربط الرقائق المقلوبة، والتغليف على مستوى الرقاقة، وFOWLP، وأدوات عملية تكديس الدوائر المتكاملة ثلاثية الأبعاد التي تتطلب أجهزة مصنعة بدقة مع نظافة من الدرجة المستخدمة في أشباه الموصلات.
تصنيع الطاقة الشمسية والكهروضوئية
مكونات تصنيع أشباه الموصلات باستخدام آلات CNC لمعدات تصنيع الخلايا الشمسية ووحدات الخلايا الكهروضوئية بما في ذلك أدوات ترسيب PECVD ومعدات طباعة الشاشة وأنظمة معالجة الرقائق لإنتاج الخلايا الشمسية المصنوعة من السيليكون أحادي البلورة ومتعدد البلورات.
معدات العرض والقياس
التصنيع باستخدام الحاسوب لمعدات تصنيع شاشات العرض المسطحة (LTPS TFT، OLED، microLED) وأنظمة قياس وفحص أشباه الموصلات بما في ذلك CD-SEM، وفحص الرقائق البصرية، ومكونات أجهزة قياس الأغشية الرقيقة.
دقة أشباه الموصلات CNC
قدرات التصنيع
يجمع مصنع CNCPioneer في شنتشن بين أكثر من 78 مخرطة CNC سويسرية لتركيبات VCR ذات القطر الصغير ومكونات الصمامات مع أكثر من 66 مركز طحن وخراطة MAZAK لكتل مشعب الغاز وأجهزة غرفة المعالجة - مع إمكانيات كاملة للتنظيف بالضغط العالي والتخميل والأنودة الصلبة والتنظيف فائق الضغط.
أسطول مخارط CNC سويسرية
78+ مخارط CNC سويسرية (Star SR-32J، Citizen A20/A16، Tsugami B206، Nomura) · قطر المكون من 0.5 مم إلى 32 مم · قطر الثقب حتى 0.5 مم · نسبة الطول إلى القطر حتى 20:1 · تفاوت القطر الخارجي ±0.005 مم · مركزية الثقب ±0.003 مم · تشطيب السطح Ra 0.4 ميكرومتر.
أسطول مازاك ميل-ترن
66+ مركز طحن وخراطة من مازاك (سلسلة Integrex، Quick Turn) · قطر المكون من 10 مم إلى 300 مم · تشغيل متزامن بخمسة محاور · تشغيل متعدد المنافذ للمشعب · هندسة مسار تدفق داخلي معقدة · دقة نمط منفذ VCR ±0.02 مم · قدرة على الحفر العميق.
تفاوتات تصنيع أشباه الموصلات
القطر الخارجي/قطر التجويف ±0.005 مم · المركزية ±0.003 مم · التسطيح (أسطح الختم) 0.002 مم · تسطيح ختم وجه VCR 0.002 مم · تشطيب السطح Ra 0.25 ميكرومتر (TK EP) · قطر خطوة الخيط ±0.005 مم · موضع المنفذ الزاوي ±0.1 درجة · التعامد 0.005 مم.
مواد أشباه الموصلات
316L VIM/VAR · 304L SS · ألومنيوم 6061-T6 / 2024 / MIC6 · إنكونيل 625 · هاستيلوي C-276 · تيتانيوم من الدرجة 2 و 5 · PEEK (درجة أشباه الموصلات) · PTFE (درجة أشباه الموصلات) · كوارتز / سيليكا منصهرة · سيليكون (درجة أشباه الموصلات) — شهادات المصنع الكاملة.
التشطيب السطحي والتشطيب بالكهرباء
التلميع الإلكتروليتي من الدرجة TK EP (Ra ≤ 0.25 ميكرومتر) · الدرجة BA (Ra ≤ 0.5 ميكرومتر) · التخميل وفقًا لمعيار ASTM A967 · الأنودة الصلبة من النوع الثاني والثالث · طلاء النيكل الكيميائي عالي الفوسفور · سجلات عملية التلميع الإلكتروليتي: كثافة التيار، التركيب الكيميائي للإلكتروليت، الوقت، درجة الحرارة المحفوظة لكل دفعة.
تنظيف فائق النقاء
التنظيف بالموجات فوق الصوتية في الماء منزوع الأيونات (18.2 ميجا أوم·سم) · التنظيف بالموجات فوق الصوتية الكبيرة · شطف بالكحول الأيزوبروبيلي والتجفيف بالنيتروجين · عد الجسيمات عن طريق الفحص البصري في غرفة نظيفة · فحص بالأشعة فوق البنفسجية للهيدروكربونات · تغليف مزدوج الأكياس معقم بالنيتروجين في غرفة نظيفة من الفئة ISO 5.
مواد لأشباه الموصلات
التصنيع باستخدام الحاسب الآلي
يخضع اختيار المواد المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات باستخدام آلات CNC لمعايير التوافق الكيميائي مع غازات المعالجة ومواد التنظيف، وكفاءة إزالة الغازات في بيئات الفراغ، وقابلية معالجة السطح بالتلميع الكهربائي والتلميع الكهروكيميائي، وخصائص توليد التلوث. تقوم شركة CNCPioneer بتصنيع جميع مواد معدات أشباه الموصلات الأساسية وفقًا لبروتوكولات مخصصة.
316L VIM/VAR
منخفض الكربون للغاية · منخفض دلتا الفريت للغاية · متوافق مع الضغط الشديد · وصلات VCR، وأجسام الصمامات، ومشعبات الغاز، ومكونات نظام الغاز عالي الضغط
304L
منخفض الكربون · مقاومة جيدة للتآكل · متوافق مع الضغط الشديد · مكونات معدات أشباه الموصلات العامة، وأجهزة أنظمة التفريغ
6061-T6
قابلية جيدة للتشغيل الآلي · قابل للأكسدة · خفيف الوزن · مكونات غرفة المعالجة، شفرات المؤثر النهائي، معدات معالجة الرقاقات
2024-T351
قوة عالية · قابلية جيدة للتشغيل الآلي · مكونات معدات أشباه الموصلات الهيكلية وتجهيزات دقيقة
لوحة أدوات الصب MIC6
سطح مستوٍ فائق · مُخفف الإجهاد · ألواح تثبيت دقيقة، مكونات قاعدة ظرف التثبيت الكهروستاتيكي، أسطح مرجعية
مادة PEEK (درجة أشباه الموصلات)
مقاومة للمواد الكيميائية · انبعاث غازات منخفض · شفافة للأشعة · حشوات مقاعد الصمامات، مكونات تلامس الرقاقات، عوازل كهربائية
مادة PTFE (درجة أشباه الموصلات)
خاملة كيميائياً · انبعاث غازات منخفض للغاية · مكونات مقعد الصمام، وصلات عزل خط الغاز، عناصر منع التسرب
Inconel 625
مقاومة كيميائية فائقة · درجات حرارة عالية · مكونات أنظمة الغازات المسببة للتآكل، ومعدات العمليات ذات درجات الحرارة العالية
هاستيلوي C-شنومكس
مقاومة فائقة للتنقر في بيئات الهالوجين · مكونات أنظمة غازات HF و Cl₂ والهاليد
التيتانيوم الدرجة 2 / الدرجة 5
مقاومة ممتازة للتآكل · خفيف الوزن · مكونات هيكلية لمعدات أشباه الموصلات مقاومة للتآكل
الكوارتز / السيليكا المنصهرة
نقي كيميائيًا · تمدد حراري منخفض · شفاف للأشعة فوق البنفسجية · مكونات حجرة المعالجة، النوافذ البصرية، مكونات الأقطاب الكهربائية
معالجة الأسطح لـ
مكونات تصنيع أشباه الموصلات باستخدام الحاسوب
تُعدّ معالجة الأسطح أهم عملية لاحقة للتصنيع في مجال التصنيع الدقيق باستخدام الحاسوب (CNC) لأشباه الموصلات. فالسطح بعد التصنيع غير مقبول للمكونات المبللة بالغاز، إذ يُخلّف التصنيع خشونة سطحية دقيقة، وجزيئات أدوات مُدمجة، وتلوثًا بالهيدروكربونات التي تُولّد جزيئات وتُطلق غازات في بيئات عمليات تصنيع أشباه الموصلات.
التلميع الإلكتروليتي (EP) - SEMI F19
المعالجة السطحية الأساسية لمكونات أنظمة توصيل الغاز في أشباه الموصلات. تعمل تقنية المعالجة الكهربائية (EP) على إزالة النتوءات السطحية بشكل انتقائي، مما ينتج طبقة أكسيد غنية بالكروم ذات خشونة سطحية (Ra) ≤ 0.25 ميكرومتر (TK EP) و ≤ 0.5 ميكرومتر (BA). تتم مراقبة عملية المعالجة الكهربائية وتوثيقها من خلال قياس خشونة السطح (Ra) لكل دفعة، بالإضافة إلى تسجيل كامل لمعلمات العملية.
التخميل — ASTM A967
تُعدّ عملية التخميل باستخدام حمض النيتريك، المتوافقة مع معيار ASTM A967 ومواصفات صناعة أشباه الموصلات، عمليةً مثاليةً لمكونات أشباه الموصلات المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ والمُشغّلة بواسطة آلات CNC. تعمل هذه العملية على إزالة الحديد الحر وتعزيز طبقة أكسيد الكروم الخاملة، مما يُحسّن مقاومة التآكل في بيئات الغازات الصناعية والمواد الكيميائية المستخدمة في التنظيف. تُجرى هذه العملية عادةً قبل معالجة الضغط الشديد.
الأنودة الصلبة - النوع الثاني والنوع الثالث
تُعدّ عملية الأنودة الصلبة من النوع الثالث مثاليةً لمكونات أشباه الموصلات المصنوعة من الألومنيوم والمُشغّلة باستخدام آلات CNC، حيث تتميز بصلابة تتراوح بين 400 و600 HV لمقاومة التآكل، ومقاومة المواد الكيميائية المستخدمة في تنظيف أشباه الموصلات، وانخفاض انبعاث الجسيمات لتطبيقات تلامس الرقاقات. كما يضمن التحكم الدقيق في السُمك (12-25 ميكرومتر) الحفاظ على دقة الأبعاد بعد عملية الأنودة.
بالكهرباء تصفيح النيكل
طلاء موحد مقاوم للتآكل والمواد الكيميائية لمكونات معدات أشباه الموصلات ذات الأشكال الهندسية المعقدة. يوفر طلاء النيكل الكيميائي عالي الفوسفور (10-12% فوسفور) أقصى مقاومة للتآكل في بيئات تنظيف أشباه الموصلات الحمضية، وصلابة سطحية موحدة عبر الأشكال الهندسية المعقدة للمشعبات وأجسام الصمامات.
تنظيف فائق النقاء
التنظيف بالموجات فوق الصوتية والموجات فوق الصوتية في الماء منزوع الأيونات (18.2 ميجا أوم·سم)، والشطف بالكحول الأيزوبروبيلي والتجفيف بالنيتروجين، والتحقق من عدد الجسيمات عن طريق الفحص البصري في الغرفة النظيفة، والفحص بالأشعة فوق البنفسجية للتلوث بالهيدروكربونات، والتعبئة والتغليف المزدوج المملوء بالنيتروجين في بيئة غرفة نظيفة من الفئة ISO 5.
وثائق الامتثال لمعايير SEMI
سجلات عملية EP (كثافة التيار، كيمياء الإلكتروليت، الوقت، درجة الحرارة) وفقًا لمتطلبات SEMI F19، وتوصيف التلوث المعدني وفقًا لمتطلبات SEMI F20، وسجلات التحقق من النظافة، وشهادة المطابقة التي تدعم برامج تأهيل معدات أشباه الموصلات الأصلية والتحقق من الامتثال لمعايير SEMI.
يتم توفير شهادات معالجة سطح التصنيع باستخدام الحاسب الآلي لأشباه الموصلات - بما في ذلك سجلات عملية EP، وسجلات التخميل، وسجلات الأنودة، والتحقق من النظافة، ووثائق الامتثال لمعايير SEMI - مع كل شحنة كجزء من حزمة وثائق الجودة التي تدعم متطلبات تأهيل معدات أشباه الموصلات الأصلية.
ضمان الجودة ل
تصنيع أشباه الموصلات باستخدام الحاسب الآلي
تتجاوز متطلبات جودة التصنيع باستخدام الحاسوب لأشباه الموصلات مجرد مطابقة الأبعاد لتشمل نظافة السطح، ونقاء المواد، والتحكم في التلوث أثناء المعالجة، وسجل التوثيق الكامل المطلوب من قبل أنظمة جودة المعدات الأصلية لأشباه الموصلات.
مراجعة العقد والرسومات
مراجعة هندسية لمتطلبات رسم مكونات أشباه الموصلات، ومعايير SEMI المعمول بها، ومواصفات تشطيب السطح (درجة EP، درجة BA)، ومتطلبات نقاء المواد (316L VIM/VAR)، ومتطلبات النظافة قبل قبول الطلب.
فحص المواد الواردة
يؤكد فحص التركيب باستخدام تقنية SII XRF درجة سبيكة 316L VIM/VAR ومحتوى دلتا فيريت؛ والتحقق من حالة سطح قضبان المخزون الواردة؛ ويتم الاحتفاظ بتقارير اختبار المصنع مع رقم الحرارة وتتبع الدفعة وشهادة المواد لكل طلب تشغيل CNC لأشباه الموصلات.
تفتيش المادة الأولى
التحقق الكامل من أبعاد جميع ميزات مكونات أشباه الموصلات الحرجة باستخدام آلة قياس الإحداثيات ثلاثية الأبعاد (CMM)، بما في ذلك هندسة وجه الختم، وأبعاد التجويف، ومواضع منفذ VCR، ودقة شكل الخيط - موثقة برسم تخطيطي كامل ونتائج قياس كاملة لسجلات تأهيل الشركات المصنعة للمعدات الأصلية (OEM).
التحقق من معالجة السطح
قياس تشطيب سطح EP بواسطة قياس التضاريس التلامسية على كل دفعة إنتاج؛ يتم الاحتفاظ بسجلات معلمات عملية EP (كثافة التيار، كيمياء الإلكتروليت، الوقت، درجة الحرارة) لكل دفعة؛ الفحص البصري في إضاءة الغرفة النظيفة للكشف عن عيوب السطح والتلوث بعد معالجة EP.
التحقق من النظافة
عدد الجسيمات بعد التنظيف عن طريق الفحص البصري في الغرفة النظيفة؛ قياس مقاومة مياه الشطف للتأكد من إزالة عامل التنظيف؛ الفحص البصري تحت إضاءة الأشعة فوق البنفسجية للكشف عن التلوث بالهيدروكربونات - قبل التعبئة والتغليف المزدوج المملوء بالنيتروجين في غرفة نظيفة من الفئة ISO 5.
حزمة الوثائق
شهادات المواد 316L VIM/VAR مع إمكانية تتبع الحرارة الكاملة وسجلات دلتا الفريت؛ تقارير CMM؛ سجلات قياس تشطيب السطح EP مع معلمات العملية؛ سجلات التحقق من النظافة؛ سجلات التخميل والعمليات الخاصة؛ وشهادة المطابقة مع كل شحنة.
نظام الجودة AS9100D و IATF 16949
لتصنيع أشباه الموصلات باستخدام الحاسوب
يلبي نظام الجودة المعتمد لدى شركة CNCPioneer وفقًا لمعياري AS9100D و IATF 16949 متطلبات الأبعاد والتوثيق لبرامج تأهيل مصنعي معدات أشباه الموصلات. نرحب بعمليات تدقيق تأهيل الموردين في مواقعهم من قبل فرق الجودة التابعة لمصنعي معدات أشباه الموصلات.
تفتيش المادة الأولى
تقرير أبعاد كامل باستخدام جهاز قياس الإحداثيات ثلاثي الأبعاد (CMM) مع رسم تخطيطي للبالون - هندسة سطح مانع التسرب، وأبعاد التجويف، ومواقع المنافذ، واستواء سطح VCR، ودقة شكل السن اللولبي، موثقة لسجلات تأهيل الشركة المصنعة الأصلية. قياس تشطيب السطح على جميع الأسطح المبللة بالغاز والأسطح المبللة بالعملية.
- رسم البالون - جميع السمات الأساسية
- CMM: أسطح منع التسرب، والثقوب، ومواقع المنافذ
- شهادات المواد وعمليات EP
التحقق من معالجة سطح EP
قياس خشونة السطح (Ra) باستخدام قياس التضاريس السطحية بالتلامس على كل دفعة إنتاجية للتأكد من مطابقتها لمعايير TK EP (Ra ≤ 0.25 ميكرومتر) أو معايير BA. يتم الاحتفاظ بسجلات معلمات عملية EP (كثافة التيار، المحلول الإلكتروليتي، الوقت، درجة الحرارة) لكل دفعة. يتم إجراء فحص بصري في غرفة نظيفة بعد عملية EP.
- Ra ≤ 0.25 ميكرومتر TK EP لكل دفعة
- تم الاحتفاظ بمعايير عملية EP لكل دفعة
- الفحص البصري للغرفة النظيفة بعد اختبار EP
إمكانية تتبع المواد
التحقق من التركيب الكيميائي باستخدام تقنية SII XRF لجميع قضبان 316L VIM/VAR الواردة. تقارير اختبار المصنع، وأرقام التسخين، وسجلات محتوى دلتا فيريت مرتبطة بكل أمر عمل لتصنيع أشباه الموصلات باستخدام آلات CNC - إمكانية تتبع كاملة من شهادة المصنع إلى شحنة المكونات النهائية.
- تم التحقق من صحة دلتا فيريت 316L VIM/VAR
- تركيبة سبيكة SII XRF لكل دفعة
- رقم الدفعة ورقم الدُفعة لربط أمر العمل
حزمة وثائق الشركة المصنعة الأصلية
شهادات المواد مع إمكانية التتبع الكاملة VIM/VAR، وتقارير فحص CMM، وسجلات تشطيب سطح EP، وسجلات التحقق من النظافة (عدد الجسيمات، ومقاومة مياه الشطف)، وسجلات عملية التخميل، وشهادة المطابقة - بتنسيق يتوافق مع معايير SEMI ومتطلبات تدقيق تأهيل OEM.
- شهادة المطابقة (C of C)
- تسجيلات EP + التحقق من النظافة
- وثائق متوافقة مع SEMI F19 / F20
الأسئلة الشائعة حول تصنيع أشباه الموصلات باستخدام الحاسوب
أسئلة شائعة من مصنعي معدات أشباه الموصلات، ومكاملي أنظمة الغازات الصناعية، وموردي معدات الفراغ حول قدرات CNCPioneer في مجال تصنيع أشباه الموصلات باستخدام الحاسوب (CNC) وقدرات التصنيع الدقيق لأشباه الموصلات باستخدام الحاسوب (CNC).
يشير مصطلح تشطيب السطح بدرجة EP (التلميع الإلكتروليتي) في تصنيع أشباه الموصلات باستخدام آلات CNC إلى حالة السطح المصقول إلكتروكيميائيًا المطلوبة لمكونات الفولاذ المقاوم للصدأ المبللة بالغاز في أنظمة توصيل الغازات فائقة النقاء. يُعرّف قطاع أشباه الموصلات درجتين أساسيتين من EP: درجة TK EP بقيمة Ra ≤ 0.25 ميكرومتر (10 ميكروبوصة) لمكونات أنظمة توزيع الغاز الأكثر أهمية والتي تتلامس مباشرة مع غازات العمليات فائقة النقاء، ودرجة BA (المعالجة الحرارية اللامعة) بقيمة Ra ≤ 0.5 ميكرومتر (20 ميكروبوصة) لتطبيقات معدات أشباه الموصلات العامة. تُعد معالجة السطح بالضغط الكهربائي ضرورية لمكونات التصنيع باستخدام الحاسب الآلي لأشباه الموصلات لأنها تزيل طبقة العمل الميكانيكية المتبقية من عملية التصنيع، وتنتج سطحًا أملسًا وخاملًا وغنيًا بالكروم يقلل من توليد الجسيمات وانبعاث الغازات، ويزيل الشقوق الدقيقة السطحية التي تؤوي الرطوبة والهيدروكربونات غير المتوافقة مع بيئات عمليات أشباه الموصلات فائقة النقاء.
يُعدّ الفولاذ المقاوم للصدأ 316L بتقنية VIM/VAR (الصهر بالحث الفراغي/إعادة الصهر بالقوس الفراغي) المعيار الصناعي لأشباه الموصلات لمكونات أنظمة توصيل الغازات فائقة الضغط، والتي تُصنّع باستخدام آلات CNC لأشباه الموصلات. تُنتج عملية VIM/VAR محتوىً منخفضًا للغاية من دلتا الفريت (عادةً ≤ 1%)، وأقل كثافة للشوائب غير المعدنية، وبنية مجهرية متجانسة للغاية مقارنةً بالفولاذ 316L القياسي. يُعدّ انخفاض محتوى دلتا الفريت أمرًا بالغ الأهمية، لأنّ طور الفريت في الفولاذ المقاوم للصدأ الأوستنيتي يتأثر بشكل تفضيلي بالأحماض القوية المستخدمة في معالجة الضغط الشديد، مما يُنتج أسطحًا خشنة وغير متجانسة لا تتوافق مع متطلبات نظافة أشباه الموصلات. توفر CNCPioneer قضبانًا من الفولاذ 316L بتقنية VIM/VAR مع شهادات من المصانع تُؤكد مطابقة محتوى دلتا الفريت لجميع طلبات تصنيع أنظمة توصيل الغازات لأشباه الموصلات باستخدام آلات CNC.
تحقق شركة CNCPioneer استواءً سطحيًا لمانع التسرب في وصلات VCR يصل إلى 0.002 مم، وتشطيبًا سطحيًا بمعامل خشونة Ra يبلغ 0.25 ميكرومتر (درجة TK EP) بعد التلميع الإلكتروليتي، وتفاوتًا في قطر خطوة لولب الحشوة يبلغ ±0.005 مم، وذلك في عمليات التصنيع الدقيقة باستخدام آلات CNC لأشباه الموصلات. تتوافق هذه التفاوتات مع مواصفات SEMI C78 لأبعاد وصلات VCR التي تنظم حمل تثبيت الحشية المعدنية وسلامة مانع التسرب عند ضغوط تشغيل تصل إلى 3,000 رطل لكل بوصة مربعة. يتم التحقق من هندسة السطح وتشطيبه باستخدام جهاز قياس الإحداثيات ثلاثية الأبعاد Mitutoyo وقياس التضاريس السطحية بالتلامس على كل عينة أولى وعلى فترات إنتاج محددة، مع توثيق النتائج في تقرير فحص جهاز قياس الإحداثيات ثلاثية الأبعاد المرفق بكل شحنة.
يشمل برنامج CNCPioneer للوقاية من التلوث في عمليات التصنيع باستخدام الحاسب الآلي لأشباه الموصلات ما يلي: أدوات مخصصة تستخدم حصريًا لمكونات أشباه الموصلات لمنع التلوث المتبادل من المواد غير الموصلة؛ سوائل قطع متوافقة مع أشباه الموصلات تم التحقق من انخفاض محتواها من الأيونات المعدنية وسهولة إزالتها أثناء التنظيف بعد التصنيع؛ مناولة مضبوطة التلوث باستخدام بروتوكولات القفازات طوال عملية التصنيع؛ تنظيف بين مراحل التصنيع لإزالة الرقائق وبقايا سائل القطع؛ تنظيف بالموجات فوق الصوتية بعد التصنيع في ماء منزوع الأيونات فائق النقاء؛ تنظيف بعد المعالجة بالضغط الكهربائي باستخدام شطف بالكحول الأيزوبروبيلي وتجفيف بالنيتروجين؛ التحقق من عدد الجسيمات عن طريق الفحص البصري في غرفة نظيفة؛ وتغليف مزدوج الأكياس معقم بالنيتروجين في بيئة غرفة نظيفة من الفئة ISO 5 للحفاظ على النظافة أثناء الشحن والتسليم.
تختلف عمليات التصنيع الدقيق باستخدام الحاسوب (CNC) لأشباه الموصلات عن عمليات التصنيع الدقيق الصناعية القياسية في خمسة جوانب أساسية. أولًا، تكون دقة الأبعاد أعلى، حيث تُضبط أبعاد وصلات الغاز لأشباه الموصلات عادةً عند ±0.005 مم مقابل ±0.02 مم للمكونات الصناعية القياسية. ثانيًا، متطلبات تشطيب السطح أكثر صرامة، حيث يجب أن يكون Ra من الدرجة TK EP ≤ 0.25 ميكرومتر مقابل Ra 0.8–1.6 ميكرومتر للأسطح المصنعة القياسية. ثالثًا، مواصفات المواد أكثر دقة، حيث يُستخدم الفولاذ المقاوم للصدأ 316L VIM/VAR ذو محتوى دلتا فيريت مضبوط مقابل الفولاذ 316L القياسي. رابعًا، تختلف متطلبات النظافة اختلافًا جذريًا، إذ يجب أن تحقق مكونات التصنيع باستخدام الحاسوب لأشباه الموصلات مستويات منخفضة جدًا من عدد الجسيمات وانبعاث الغازات أقل بكثير من المكونات الصناعية القياسية. خامسًا، متطلبات التوثيق أكثر شمولًا، حيث يُشترط تتبع المواد بالكامل، وسجلات عملية EP، وسجلات قياس تشطيب السطح، وسجلات التحقق من النظافة لكل دفعة من أشباه الموصلات المصنعة باستخدام الحاسوب.
بالنسبة للكميات النموذجية من مكونات أشباه الموصلات القياسية المصنعة باستخدام آلات CNC من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L أو الألومنيوم 6061 بدون معالجة سطحية بالضغط الكهربائي، نقوم بتسليم عينات أولية خلال 5-7 أيام عمل. أما المكونات النموذجية التي تتطلب معالجة سطحية بالضغط الكهربائي وتنظيفًا فائق النقاء، فتستغرق 3-5 أيام إضافية لمعالجة السطح، وقياس خشونة السطح (Ra)، والتغليف في غرف نظيفة. بينما تتطلب مكونات أشباه الموصلات النموذجية المصنوعة من الإنكونيل والهاستيلوي 10-14 يومًا. يتم إنجاز كميات الإنتاج خلال 3-5 أسابيع، وذلك حسب تعقيد المكون، ونوع المادة، ومتطلبات المعالجة السطحية، وحجم الطلب. تتوفر اتفاقيات توريد طويلة الأجل مع فترات تسليم مضمونة لبرامج تصنيع المعدات الأصلية لأشباه الموصلات التي تتطلب طاقة إنتاجية مخصصة.
تدعم CNCPioneer الامتثال لمعايير SEMI F19 (مواصفات التخميل الإلكتروليتي في معدات تصنيع أشباه الموصلات)، وSEMI F20 (توصيف التلوث المعدني لمكونات نظام توزيع الغاز)، وSEMI C78 (أبعاد وتفاوتات تركيبات مانع التسرب الأمامي VCR)، وSEMI E1.9 (مواصفات الكاسيت لنقل رقائق السيليكون بقطر 300 مم)، وSEMI E47.1 (المواصفات الميكانيكية FOUP لرقائق السيليكون بقطر 300 مم)، وSEMI F57 (مواد البوليمر في الماء فائق النقاء وتوزيع المواد الكيميائية السائلة). يُعد التحقق من تشطيب السطح وفقًا لمعياري ASME B46.1 وISO 4287، والامتثال للمواد وفقًا لمعياري ASTM A479 وA269، معيارًا أساسيًا لمكونات تصنيع أشباه الموصلات باستخدام الحاسوب (CNC). تتضمن حزمة وثائق الشحن جميع الوثائق الداعمة للتحقق من الامتثال لمعايير SEMI.
نعم. توفر CNCPioneer حزمة توثيق كاملة لتصنيع أشباه الموصلات باستخدام آلات CNC، تدعم برامج تأهيل مكونات المعدات الأصلية، بما في ذلك: شهادات مواد 316L VIM/VAR مع إمكانية تتبع الحرارة الكاملة وسجلات محتوى دلتا فيريت؛ تقارير فحص الأبعاد باستخدام آلة قياس الإحداثيات ثلاثية الأبعاد مع رسومات توضيحية لجميع الميزات الحرجة؛ سجلات قياس تشطيب سطح EP مع قيم Ra وسجلات معلمات عملية EP؛ سجلات التحقق من النظافة بما في ذلك نتائج عدد الجسيمات وقياسات مقاومة مياه الشطف؛ سجلات عملية التخميل؛ شهادة المطابقة؛ وتقارير فحص العينة الأولى المنسقة وفقًا لمعيار AS9102 للمصنعين الأصليين الذين يتطلبون توثيق FAIR رسميًا.
احصل على عرض أسعار لخدمات تصنيع أشباه الموصلات باستخدام الحاسوب (CNC)
حمّل رسم مكونات أشباه الموصلات أو ملف التصميم بمساعدة الحاسوب (CAD) الخاص بك، واحصل على مراجعة مجانية للتصميم من أجل التصنيع (DFM) وعرض أسعار تنافسي من مورد خدمات تصنيع أشباه الموصلات باستخدام الحاسوب (CNC) خلال 24 ساعة. سيقوم فريق الهندسة في CNCPioneer بمراجعة تصميم مكوناتك للتأكد من جدوى تصنيعها بدقة عالية باستخدام الحاسوب (CNC)، والتأكد من مطابقة مادة 316L VIM/VAR لتطبيقات أنظمة توصيل الغاز، وتقييم متطلبات معالجة الأسطح بالضغط العالي (EP)، وتقديم عرض أسعار شامل يغطي التصنيع، ومعالجة الأسطح، والتنظيف، والتغليف، والتوثيق.